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圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法技术
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文档序号:13017651
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提供能够均匀地转印微细图案的圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法。使用由圆筒形状的石英玻璃构成且内部应变以双折射量为小于70nm/cm的圆筒基体材料(11)。在该圆筒基体材料(11)的外周表面成膜抗蚀剂层,并在抗蚀剂层形成潜影,使形成潜影的抗...
该专利属于迪睿合株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过迪睿合株式会社授权不得商用。
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