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本发明提供一种具有拉曼增强性能薄膜的制备方法，利用磁控溅射共溅射在光滑石英或单晶硅基底上制备100nm-150nm的银和二氧化硅纳米复合薄膜；在复合薄膜表面继续溅射一层30-50nm纳米银薄膜；将上述薄膜放入退火炉中，在保护性气氛下加热至9...该专利属于上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司授权不得商用。