下载感光性树脂组合物的技术资料

文档序号:13011569

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本发明的课题在于提供一种感光性树脂组合物、使用其的永久掩模抗蚀剂、以及具备该永久掩模抗蚀剂的印刷配线板,所述感光性树脂组合物能够形成抗蚀剂形状优异、分辨率优异的图案,并且能够形成除耐PCT性(耐湿热性)、耐回流性、电绝缘性(HAST耐性)和...
该专利属于日立化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成株式会社授权不得商用。

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