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本发明涉及一种工件涂覆方法，包括以下步骤：给涂覆室装入待涂覆工件；关闭该涂覆室并将该涂覆室抽真空至预定的工艺过程压力；启动包括靶作为材料源的涂覆源且来自靶表面的微粒由此被朝向该基材加速，其特征是，在靶表面和基材之间一直设置屏蔽直到该靶被修整...
该专利属于欧瑞康表面处理解决方案股份公司特鲁巴赫所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康表面处理解决方案股份公司特鲁巴赫授权不得商用。

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