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本发明提供描绘装置，该描绘装置具有：描绘台，其载置基板；曝光描绘部，其与上述描绘台相对地进行移动，将图案描绘在该描绘台上的基板上，在该描绘装置中，形成在基板上的对准标记的位置误差小且不会使基板的平面精度受损。描绘装置在上述描绘台上设有多个基...
该专利属于株式会社ORC制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社ORC制作所授权不得商用。

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