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一个用于平面衬底的极性结构的加工设备，具有中央基础模块（8），它具有用于衬底（34）的真空转移室，其中所述真空转移室（4）相对于基础模块（8）偏心地通过位于基础模块（8）中央部位的、相对于基础模块（8）同心的旋转支承（14）自由地在空间中可...
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