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本实用新型提供一种机台管路进水的侦测报警装置，应用于机台上部充气装置的真空管路中，其中，包括：研磨头，所述研磨头可升降地与一马达连接；气阀，所述气阀安装在所述马达的上端；抽真空管路，所述抽真空管路与所述气阀相连接；以及流量侦测器，所述流量侦...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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