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一种晶片磨边方法和磨边机,方法包括:获取用户输入的磨边指令;当磨边模式指令为快速磨边指令时,输出用于控制磨边机吸盘以第一转速转动的第一预设转速信号;获取并实时记录吸盘旋转圈数,判断吸盘旋转圈数是否达到预设值,如果是,输出用于控制磨边机转盘以...该专利属于广东先导半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东先导半导体材料有限公司授权不得商用。
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一种晶片磨边方法和磨边机,方法包括:获取用户输入的磨边指令;当磨边模式指令为快速磨边指令时,输出用于控制磨边机吸盘以第一转速转动的第一预设转速信号;获取并实时记录吸盘旋转圈数,判断吸盘旋转圈数是否达到预设值,如果是,输出用于控制磨边机转盘以...