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描述了一种基板去弯曲机构、系统和方法。所述机构可以包括基板支撑件、一个或多个静止的接触构件以及适于接触所述基板并使所述基板在期望的方向上弯曲以减少或消除所述基板的弯曲的一个或多个动态的或可移动的接触构件。所述机构由可以基于可以是动态和/或静...
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