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本发明是一种研磨头的制造方法，所述研磨头具备：背部衬垫，其被黏结在刚性体的下部，用以保持工件的背面；及，环状的模板，其在该背部衬垫的底面，用以保持前述工件的边缘部；并且，所述研磨头一边将前述工件的背面保持在前述背部衬垫的底面，一边使前述工件...该专利属于信越半导体股份有限公司;信越工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信越半导体股份有限公司;信越工程股份有限公司授权不得商用。