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一种双金属栅极结构的制备方法技术
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一种双金属栅极结构的制备方法,包括:步骤S1:设置具有NMOS之第一区域和PMOS之第二区域的半导体衬底;步骤S2:在具有NMOS之第一区域和PMOS之第二区域的半导体衬底上设置栅极介电层和第一栅极金属层,且第一栅极金属层为PMOS功能函数...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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