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一种快速抽空的方法，其特征是，保持真空泵系统冷却水不变，将炉室系统的冷却水切换为50℃的温水，加快炉室内的分子挥发，从而加快抽空速度。本发明的有益效果是：经过长时间的实践验证，使用这种方法进行抽空，不但不会对设备造成任何损坏，而且可以有效的...
该专利属于云南钛业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南钛业股份有限公司授权不得商用。

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