下载半导体器件及其制备方法的技术资料

文档序号:12879605

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本发明揭示了一种半导体器件,包括:半导体基底,所述半导体基底上形成有一铝垫片;钝化层,覆盖所述铝垫片,所述钝化层中形成有一第一开口,所述第一开口贯穿所述钝化层,并暴露出部分所述铝垫片;以及第一开口侧墙,位于所述第一开口的侧壁上。同时,本发明...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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