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本发明公开了一种谐振器纳米梁静电吸合控制系统及其控制方法，该系统包括驱动装置、信号提取装置和控制装置三部分。该控制方法包括以下步骤：1)确定纳米梁主共振峰值振幅；2)确定纳米梁吸合临界挠度；3)确定纳米梁吸合临界电压；4)确定纳米梁与基底电...
该专利属于山东理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东理工大学授权不得商用。

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