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本发明揭示了一种对准装置，包括夹具、承载台、固定安装在夹具上的传感器、固定安装在承载台上的被感测体、及驱动夹具旋转和移动的驱动装置。本发明还揭示了一种夹具与承载台对准方法，包括：移动夹具，以使夹具上的传感器能够检测到承载台上的被感测体，如果...
该专利属于盛美半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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