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本发明提供一种边缘氧化层剥除装置及边缘氧化层的剥除方法，所述装置包含剥除器本体及气罩，剥除器本体包含承载本体、承载盘、输入端及输出端，所述方法包含提供晶圆输入保护液体以覆盖住晶圆氧化层的保留区域，并露出欲去除的边缘氧化层、形成封闭空间、输入...
该专利属于昆山中辰矽晶有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山中辰矽晶有限公司授权不得商用。

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