温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

气体供给管(1)包含一端封闭、管壁具备沿长度方向排列的多个贯通孔(3)的外侧管(2)，以及一端与气体供给源相连、并插入至外侧管(2)的内部的内侧管(5)。由气体供给源提供的气体以如下路径流动：通过内侧管(5)，通过形成于外侧管(2)内部的外...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。