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用于转移电路层的工艺制造技术
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文档序号:12852317
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本发明涉及一种用于转移隐埋电路层(2)的工艺。该工艺的特征在于,其包括下列步骤:取得施主衬底(1,1’),所述施主衬底在内部包括用于停止刻蚀的区域(7,7’),并且所述施主衬底在其表面中被称为“前”侧的一个表面(12)覆盖有电路层(2);在...
该专利属于SOITEC公司所有,仅供学习研究参考,未经过SOITEC公司授权不得商用。
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