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流量控制装置和流量控制方法制造方法及图纸
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文档序号:12850375
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本发明提供流量控制装置和流量控制方法,所述流量控制装置不设置用于检测压力变化的附加传感器,即使在阀的上游产生压力变化,也能够使其影响不表现在所述阀的下游,从而使流量持续稳定为设定流量值,所述流量控制装置包括:阀(3);流量传感器(2);阀控...
该专利属于株式会社堀场STEC所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。
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