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用于制造多个结构的工艺制造技术
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下载用于制造多个结构的工艺的技术资料
文档序号:12849581
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该工艺包括下列步骤:a)提供适于接收多个结构(S)的腔室(10),b)使气体流(F)在腔室(10)中循环,使得腔室(10)具有非氧化性气氛,c)在高于阈值的温度下对多个结构(S)进行热处理,在高于阈值的温度下,电介质的氧化物中存在的氧扩散通...
该专利属于SOITEC公司所有,仅供学习研究参考,未经过SOITEC公司授权不得商用。
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