下载高精度抛光液及其制备方法的技术资料

文档序号:12843118

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本发明公开了一种高精度抛光液及其制备方法,抛光液包括如下重量份的组分:氧化铈300-600份、硅酸钾500-800份、硅溶胶50-100份、氢氟酸5-10份、氧化铝10-20份、高锰酸钾5-10份、二氧化硅5-10份和水200-500份。优...
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