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本发明提供了制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用，该方法包括：(1)利用导电氧化物，在衬底的一个表面上进行沉积处理，以便形成沉积薄膜，沉积处理包括依次进行的一次沉积和二次沉积；以及(2)对沉积薄膜进行湿法蚀刻，以便形成透明导电氧化物薄膜，其...该专利属于河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司授权不得商用。
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