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具有铁电场效应晶体管存储器阵列的设备及相关方法技术
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文档序号:12833340
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一种设备包括:场效应晶体管FET结构,其水平地及垂直地堆叠成三维存储器阵列架构;栅极,其在所述多个FET结构之间垂直地延伸且水平地隔开;及铁电材料,其分离所述FET结构与所述栅极。个别铁电FET FeFET形成于所述FET结构、所述栅极及所...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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