下载具有铁电场效应晶体管存储器阵列的设备及相关方法的技术资料

文档序号:12833340

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一种设备包括:场效应晶体管FET结构,其水平地及垂直地堆叠成三维存储器阵列架构;栅极,其在所述多个FET结构之间垂直地延伸且水平地隔开;及铁电材料,其分离所述FET结构与所述栅极。个别铁电FET FeFET形成于所述FET结构、所述栅极及所...
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