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一种用于等离子反应装置的衬套单元，所述等离子反应装置具有一第一腔体以及一第二腔体，所述衬套单元包含：一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，以及一第二连接部，用于与所述第二腔体的一对接部对接。所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补，...
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