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本发明是关于一种基板移送装置，在对脆性材料基板刻划并切断后，移送至下一步骤阶段时，不会对基板等造成损伤地将基板滑顺地移送。该基板移送装置，具备将基板从第1位置空间部(A)往第2位置空间部(B)移送的输送皮带(20)、以及配置于第1位置空间部...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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