下载激光脉冲溅射沉积制备Ni-Mn-Co-In合金薄膜的方法的技术资料

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本发明提供了一种激光脉冲溅射沉积制备Ni-Mn-Co-In合金薄膜的方法。该合金薄膜的结构通式为Ni50Mn34In16-XCoX,通式中x=0、2、4、6,该薄膜按如下方法制备:按配比取Ni、Mn、Co、In金属单质作为靶材原料,将靶材原...
该专利属于大连大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连大学授权不得商用。

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