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标尺和光学编码器制造技术
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文档序号:12818736
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本发明涉及一种标尺和光学编码器。该标尺和光学编码器能够与安装检测头的误差无关地维持参考位置的精度。根据本发明的标尺包括:具有预定间距的光栅图案的两个主信号标尺光栅;以及参考信号图案,其中,所述两个主信号标尺光栅沿与所述两个主信号标尺光栅的长...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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