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气动光学变形镜系统的控制方法，属于超精密光学应用控制领域。该方法先拟合系统开环情况下稳定时的输入和输出数据的线性关系，确定前馈控制器的前馈系数；然后根据该系统的期望位移计算前馈控制器的输出量；然后比较期望位移与位移传感器获得的实际位移得到位...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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