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本发明涉及一种均匀化氮化硼涂层的制备方法。给方法以三氯化硼（BCl3）和氨气（NH3）为反应气体，通入反应器中，先在混合区混合均匀，再在沉积反应区发生表面沉积，最后将所得样品进行高温热处理，经扫描隧道显微镜（SEM）、傅立叶红外（FT-IR...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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