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本发明公布了一种用于多晶硅还原炉用石墨组件的石墨护罩,所述石墨组件用于固定硅芯,其特征在于:所述石墨护罩为隔离部件,用于隔离石墨组件和硅芯位于石墨组件外部部分。本发明与已有技术相比具有以下优点:结构简单、紧凑、合理,使用安装方便,大幅降低石...该专利属于无锡中硅新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡中硅新材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公布了一种用于多晶硅还原炉用石墨组件的石墨护罩,所述石墨组件用于固定硅芯,其特征在于:所述石墨护罩为隔离部件,用于隔离石墨组件和硅芯位于石墨组件外部部分。本发明与已有技术相比具有以下优点:结构简单、紧凑、合理,使用安装方便,大幅降低石...