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本实用新型公开了一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，其技术方案要点是：它包括游离磨料抛光辊基体，游离磨料抛光辊的两侧分别设有抛光辊左端支撑机构和抛光辊右端支撑机构，游离磨料抛光辊基体的外侧设有游离磨料抛光辊基体层，游...
该专利属于河南科技学院所有，仅供学习研究参考，未经过河南科技学院授权不得商用。

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