【技术实现步骤摘要】
本技术属于微电子、光电子、柔性显示器衬底制造中的超精密加工技术，属于金属与非金属材料加工
，特别涉及超薄柔性金属与非金属材料的化学机械抛光中使用的R〇ll-t〇-R〇ll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊。
技术介绍
微电子、光电子、集成电路制造是衡量一个国家地位和综合国力的重要标志之一，是当今世界竞争最激烈、发展最迅速的领域，只有掌握先进的微电子及光电子制造技术才能有效地控制成本和扩大生产规模，才能在激烈的市场竞争中生存和发展。微电子及光电子先进制造作为国民经济的基础产业、先导产业、支柱产业和战略性产业，对我国国民经济、国家安全、人民生活和社会进步正在发挥着越来越重要的作用。柔性显示技术正逐渐改善人们的生活和交流，并显著推进着信息可视化。近年来，柔性显示的优势日益突出，柔性电子与作为平板显示的LCD、0LED和等离子体显示相比，具有超薄、质量轻、耐用、储存量大、设计自由，可挠曲、可收卷和耐冲击等性能，广泛适用于移动电话、个人数字助理PDA、笔记本电脑、商标、安全身份文件、电子书、电子海报、汽车仪表板、RF识别系统、传感器、环境显示、医疗、普通照明、...
【技术保护点】
一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，它包括游离磨料抛光辊基体，其特征在于：游离磨料抛光辊的两侧分别设有抛光辊左端支撑机构和抛光辊右端支撑机构，游离磨料抛光辊基体的外侧设有游离磨料抛光辊基体层，游离磨料抛光辊基体层的外侧设有第一粘接层，第一粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的支撑层，在游离磨料抛光辊的支撑层的外侧设有第二粘接层，第二粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的接触层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：苏建修，贾琛，姚建国，郭竞杰，郑丽媛，王雅慧，张骞，陈佳鹏，
申请(专利权)人：河南科技学院，
类型：新型
国别省市：河南;41
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