温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺，解决了独立加工的问题，实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁，梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6)，上层材料和下层材料的热膨胀系数不同...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。