下载光纤端面的微加工方法的技术资料

文档序号:12783734

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本发明公开了光纤端面的微加工方法,包括以下步骤:在光纤端面涂光刻胶,形成均匀光刻胶层;烘干;进行对准,曝光,显影,清洗,使用真空热板烘干;进行刻蚀,得到光纤端面反应池。本发明实现了光纤端面反应池的低成本、高精度的加工。...
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