下载TFT阵列基板及其制作方法的技术资料

文档序号:12781957

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本发明提供一种TFT阵列基板及其制作方法,以扫描线(2)的图案为掩模版,对衬底基板(1)进行干蚀刻,在衬底基板(1)与扫描线(2)的爬升斜坡(21)的相交处形成一过渡斜坡(13),数据线(4)及绝缘层(3)经由该过渡斜坡(13)、与爬升斜坡...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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