温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

用于处理如半导体晶片类物品的处理器，包括限定封闭的洁净处理腔室的机箱和至少一个设在该腔室内的处理工位；邻接部分有连接开口，装有待处理物品的容器经开口被装入或从中卸载。邻接部分以卫生的方式与处理腔室分开。适于与所述容器密封的物品提取机构能够把...
该专利属于塞米图尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞米图尔公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。