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本实用新型公开了一种分子泵过滤装置，该过滤装置设置在连接分子泵与炉体的气路上，包括：第一滤网和第二滤网，在所述第一滤网和所述第二滤网之间设置有供气流通过的迷宫通道，所述迷宫通道的底部为杂质容留区域。本实用新型可以有效吸附管道内与炉腔内的杂质...
该专利属于北京世纪金光半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京世纪金光半导体有限公司授权不得商用。

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