下载模块分选器的技术资料

文档序号:1276569

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公开了一种模块分选器,其中通过一个特殊的晶片制作过程可容易地实现添加和拆卸模块部分,以根据需要添加和拆卸装载口组件。在一个实施例中,根据本发明的模块分选器包括:为分选器限定一个小环境的一个双宽度模块部分;一个晶片处理机器人;一对校准器和一个...
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