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模块分选器制造技术
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文档序号:1276569
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公开了一种模块分选器,其中通过一个特殊的晶片制作过程可容易地实现添加和拆卸模块部分,以根据需要添加和拆卸装载口组件。在一个实施例中,根据本发明的模块分选器包括:为分选器限定一个小环境的一个双宽度模块部分;一个晶片处理机器人;一对校准器和一个...
该专利属于阿西斯特技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿西斯特技术公司授权不得商用。
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