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本实用新型公开了一种具有对齐功能用于多晶硅还原炉的石墨卡瓣,主要由分散的多个分卡瓣组成,所述分卡瓣组装后中间形成用于固定硅芯的内腔,同时分卡瓣彼此之间有分离槽,所述分卡瓣外表面均设有等高度用于对齐的沟槽。所述沟槽的设置便于使用安装工具对所述...该专利属于无锡中硅新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡中硅新材料股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种具有对齐功能用于多晶硅还原炉的石墨卡瓣,主要由分散的多个分卡瓣组成,所述分卡瓣组装后中间形成用于固定硅芯的内腔,同时分卡瓣彼此之间有分离槽,所述分卡瓣外表面均设有等高度用于对齐的沟槽。所述沟槽的设置便于使用安装工具对所述...