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适用于12寸晶圆的芯片封装设备制造技术
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下载适用于12寸晶圆的芯片封装设备的技术资料
文档序号:12738705
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本发明公开了一种适用于12寸晶圆的芯片封装设备,包括:滑动安装架,其由第一驱动单元驱动沿水平方向来回滑动;装片焊头,其安装于第二驱动单元的输出轴上,且所述装片焊头上安装有第三驱动单元并由所述第三驱动单元驱动作360度的旋转,第二驱动单元还固...
该专利属于王敕所有,仅供学习研究参考,未经过王敕授权不得商用。
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