下载一种合成氧氮化硅原料及其制备方法的技术资料

文档序号:12733652

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本发明涉及一种合成氧氮化硅原料及其制备方法。其技术方案是:先将50~60wt%的单质硅与40~50wt%的二氧化硅混合,在球磨机中球磨至粒度为4.5~6.5μm,得到球磨粉料。再将球磨粉料放入气氛炉中,在高纯氮气气氛中,以10~12℃/mi...
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