下载校准扫描透射带电粒子显微镜的方法的技术资料

文档序号:12733011

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一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法,显微镜能够被操作于:非扫描模式,在此模式,射束相对较粗并且检测器在不调用扫描装置的情况下形成图像;或扫描模式,在此模式,所述射束相对较细并且所述检测器积累作为所述射束的扫描位置的函数的图像,方法包括下面...
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