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本实用新型提供了一种RTA新型载盘，其包括多个用于放置晶圆的载盘单元，且每个载盘单元中放置一片晶圆；其中，载盘单元中包括：一与晶圆大小匹配的载盘框以及一设置在载盘框内部的环形槽或分设在载盘框中用于承载晶圆的多个载盘支撑点，每个载盘支撑点以载...
该专利属于晶能光电(江西)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶能光电(江西)有限公司授权不得商用。

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