温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种去溢料装置，包括药液子槽、药液母槽，药液子槽与药液母槽之间连接有管道，所述管道上设有过滤分离器，所述过滤分离器内设有转轴，所述转轴与位于过滤分离器顶部的驱动装置连接。本发明结构简单、易于实现，有效去除因电解工艺残留于药液中溢料...
该专利属于桂林斯壮微电子有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过桂林斯壮微电子有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。