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本发明公开了一种垂直排列的二硫化铪纳米片的化学气相沉积制备方法，包括如下步骤：(1)清洗衬底；(2)将衬底、硫粉和四氯化铪粉放入真空管式炉中；(3)将真空管式炉抽至高真空，通入氩气和氢气；(4)将管式炉依次升温、保温、降温；(5)取出衬底，...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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