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用于等离子体腔室中的快速且可重复的等离子体点燃和调谐的方法技术
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下载用于等离子体腔室中的快速且可重复的等离子体点燃和调谐的方法的技术资料
文档序号:12697827
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本公开的诸实施例包括用于使用经由匹配网络耦合至工艺腔室的RF电源在该工艺腔室中进行等离子体处理的方法与设备。在一些实施例中,该方法包括:当匹配网络处于保持模式时,由RF电源以第一频率将RF功率提供给工艺腔室;在第一时期期间,使用RF电源将第...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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