下载一种逆导型IGBT器件及其制作方法的技术资料

文档序号:12696637

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本申请提供了一种逆导IGBT器件的制作方法,包括:提供半导体结构,该半导体结构包括相互分离的IGBT元胞区快速恢复二极管元胞区;在所述IGBT元胞区的上表面形成铜电极层;以所述铜电极层为阻挡层,对所述半导体结构进行离子注入;在所述快速恢复二...
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