下载碳化硅粉末和碳化硅单晶的制造方法的技术资料

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提供一种碳化硅粉末,其用作升华再结晶法的原料的情况下,升华速度快且未升华而残存的碳化硅的量少,因此能够提高碳化硅单晶的生产率,并且碳化硅单晶(例如单晶晶片)能够大型化。碳化硅粉末是勃氏比表面积为250~1,000cm2/g的碳化硅粉末,该碳...
该专利属于太平洋水泥株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所所有,仅供学习研究参考,未经过太平洋水泥株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所授权不得商用。

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