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本实用新型公开了一种生长Ⅲ族氮化物晶体的装置，包括反应釜，所述反应釜内设有至少两个由上往下分布的坩埚，坩埚内底部设有晶种模板，位于反应釜最下部的坩埚通过环流通道与位于反应釜最上部的坩埚相连通，环流通道内设有溶液驱动器，上下分布的相邻的两个坩...
该专利属于北京大学东莞光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学东莞光电研究院授权不得商用。

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