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压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置和系统制造方法及图纸
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文档序号:12679915
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本实用新型公开了一种压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置和系统,属于压电驱动领域,所述压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置包括数字信号处理模块、驱动模块和反馈模块,其中:所述数字信号处理模块的驱动信号输出端与所述驱动模块的输入端连接,所...
该专利属于北京派和科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京派和科技股份有限公司授权不得商用。
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